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    日本大冢電子Smart膜厚儀的技術特點

    發布時間: 2025-07-14  點擊次數: 131次
      日本大冢電子(Otsuka)的Smart膜厚儀是一款手持式、高精度的測量設備,專為現場使用而設計。該設備能夠測量0.1μm單位的膜厚,并且具有非破壞性的測量能力,適用于具有形狀的樣品。此外,Smart膜厚儀不受基材材質的限制,可以測量其鍍膜。
     
      Smart膜厚儀的測量原理基于反射分光法(光干涉法),這是一種非破壞性測量方法。該設備的膜厚測量范圍為1μm至50μm,顯示上限為60μm,重復精度達到2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)。測量時間極短,僅需1秒內,且測量層數為1層。數據輸出可以通過附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案,測量點大小為Φ1mm以下,重量約為1.1kg。
     
      該設備還提供了筆型探頭選配,能夠測量狹窄區域或形狀的樣品,探頭Φ6mm。此外,還有非接觸式載臺選配,對于濕膜或半導體晶圓等不想接觸的樣品,可以通過自由設定探頭位置進行非接觸測量。這些特點使得Smart膜厚儀在產品開發、產線設定、質量管理以及售后服務等多個領域都有廣泛的應用場景。
     
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